熔融石英
1. 石英：目前材料主要使用的是融石英(Fused silica)和氟化钙(GaF2),激光器的功率已经达到了4 kW,浸没式光刻使用的液体介质常数已经达到1.644等,使得光刻技术在选择哪种技术完成100nm以下的生产任务时,经过几年的沉默后又开始活跃起来了.
2. 焙合硅石：front projection 前方投影 | fused silica 焙合硅石 | gamma infinitive 反差极限值
3. 熔凝石英,石英玻璃：fused fiber coupler 熔接式光纤耦合器 | fused silica 熔凝石英,石英玻璃 | fusibility 熔性
4. 熔凝石英：fused silica glass 熔融石英玻璃 | fused silica 熔凝石英 | fused singlemode coupler 熔凝单模耦合器